LỜI NÓI ĐẦU
BẢNG KÝ HIỆU HÌNH SỬ DỤNG TRONG CHÂN KHÔNG
BẢNG CHỮ CÁI VIẾT TẮT
CÁC HẰNG SỐ VẬT LÝ
BẢNG KÝ HIỆU
MỞ ĐẦU
PHẦN I. VẬT LÝ CHÂN KHÔNG
Chương 1. LÝ THUYẾT ĐỘNG HỌC PHÂN TỬ CÁC CHẤT KHÍ
1.1. Khí lý tưởng
1.2. Các đặc trưng của phân tử khí
1.3. Các định luật về chất khí, phương trình trạng thái khí lý tưởng
1.4. Các đặc trưng cơ bản của chất khí
Chương 2. CÁC CHẾ ĐỘ CHẢY CỦA CHẤT KHÍ
2.1. Giới thiệu
2.2. Các đại lượng: lưu lượng khí, tốc độ rút khí và độ dẫn khí
2.3. Phân loại các chế độ chảy
2.4. Chế độ chảy liên tục
2.5. Chế độ chảy phân tử
2.6. Chế độ chảy chuyển tiếp
Chương 3. KHÍ SINH RA TỪ NGUỒN RẮN
3.1. Bay hơi
3.2. Khuếch tán
3.3. Quá trình nhả khí do nhiệt
3.4. Nhả khí bằng các phương pháp khác
3.5. Sự rò khí
PHẦN II. CÁC THIẾT BỊ ĐO CHÂN KHÔNG (CHÂN KHÔNG KẾ)
Chương 4. ĐO CHÂN KHÔNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐO TRỰC TIẾP
4.1. Thiết bị đo chân không thành ống rắn
4.2. Thiết bị đo chân không thành ống lỏng
Chương 5. ĐO CHÂN KHÔNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP ĐO GIÁN TIẾP
5.1. Thiết bị đo chân không trên cơ sở độ dẫn nhiệt
5.2. Thiết bị đo chân không trên cơ sở độ nhớt
5.3. Thiết bị đo chân không trên cơ sở ion hóa
5.4. Đo áp suất riêng phần - khối phổ kế
PHẦN III. BƠM CHÂN KHÔNG VÀ CÁC HỆ CHÂN KHÔNG
Chương 6. BƠM CƠ HỌC
6.1. Bơm cơ học trục quay – bơm bản rotor
6.2. Bơm cơ học piston trục quay – bơm bản stator
6.3. Bơm cánh quạt
6.4. Bơm màng
6.5. Bơm cánh chụp
6.6. Bơm xoắn ốc
6.7. Bơm cuốn
Chương 7. BƠM TUBOR PHÂN TỬ
7.1. Nguyên lý hoạt động
7.2. Cấu tạo của bơm
7.3. Tốc độ bơm, độ nén khí và áp suất tới hạn
Chương 8. BƠM KHUẾCH TÁN
8.1. Nguyên lý hoạt động
8.2. Cấu tạo của bơm
8.3. Các vùng hoạt động
8.4. Tốc độ bơm và lưu lượng khí
8.5. Hiệu ứng do nhiệt
8.6. Khuếch tán ngược, thiết bị bẫy khí và tấm cản dầu
Chương 9. MỘT SỐ LOẠI BƠM KHÁC
9.1. Tương tác các phân tử khí và vật liệu bẫy khí
9.2. Bơm bẫy hấp thụ ion
9.3. Bơm hấp phụ (bơm zeolites)
9.4. Bơm ion phóng điện
9.5. Bơm ngưng tụ
Chương 10. CÁC HỆ CHÂN KHÔNG CAO VÀ SIÊU CAO
10.1. Nguyên lý chung
10.2. Hệ chân không một tầng chỉ sử dụng bơm cơ học
10.3. Hệ chân không cao sử dụng bơm khuếch tán
10.4. Hệ chân không cao sử dụng bơm turbo phân tử
10.5. Hệ chân siêu cao và cực siêu cao sử dụng nhiều loại bơm chân không
10.6. Một số ứng dụng của hệ bơm chân không
TÀI LIỆU THAM KHẢO
CHỈ MỤC