MEMS ÁP ĐIỆN VÀ VẬT LIỆU LINH KIỆN QUYỂN 1

Vi hệ thống cơ điện tử (Micro Electro Mechanical Systems – MEMS) là một lĩnh vực đa ngành liên quan đến sự tích hợp của các cấu kiện vi cơ với mạch tích hợp vi điện tử. Trong những năm gần đây, cùng với sự phát triển của công nghệ MEMS, vật liệu màng áp điện đã và đang được quan tâm nghiên cứu nhằm ứng dụng trong chế tạo các linh kiện MEMS áp điện (PiezoMEMS). Các linh kiện đó thường bao gồm các cảm biến khối lượng, bộ phát sóng siêu âm, bộ lọc sóng tần số cao, bộ chuyển đổi cơ – điện năng, bộ tích trữ năng lượng có mật độ điện tích cao dạng xung,...

Trong suốt hơn 15 năm qua, nghiên cứu lĩnh vực MEMS áp điện bao gồm vật liệu màng mỏng áp điện chứa chì và không chứa chì cùng với các linh kiện liên quan như vi thanh dầm áp điện, vi cân tinh thể thạch anh (QCM),… đã được thực hiện tại Viện ITIMS, Đại học Bách khoa Hà Nội. Các linh kiện MEMS áp điện bước đầu đã được thử nghiệm ứng dụng trong lĩnh vực y – sinh, môi trường và năng lượng. Để tổng hợp và giới thiệu các kết quả nghiên cứu đã thu được trong lĩnh vực MEMS áp điện, tập thể tác giả thuộc Viện ITIMS, Đại học Bách khoa Hà Nội tổ chức biên soạn cuốn sách chuyên khảo “MEMS áp điện, vật liệu và linh kiện”.

Cuốn sách bao gồm tám chương: Chương 1 trình bày về tính chất sắt điện và áp điện của vật liệu; Đặc tính mỏi trong cấu trúc sắt điện – áp điện và phương pháp chế tạo màng và linh kiện sắt điện – áp điện được trình bày trong Chương 2 & 3; Chương 4 đề cập tới tính chất của vật liệu sắt điện không chứa chì nền BNKT; Vật liệu sắt điện không chì KNN được giới thiệu trong chương 5; Chương 6 trình bày về ứng dụng của các linh kiện MEMS sắt điện – áp điện; Linh kiện MEMS quang áp điện được đề cập trong Chương 7; Chương 8 trình bày về linh kiện áp điện vi cân tinh thể thạch anh (QCM – quartz crystal microbalance).

Quyển 1 bao gồm các chương 1, 2, 3.