LỜI NÓI ĐẦU

Chương 1. TÍNH CHẤT SẮT ĐIỆN VÀ ÁP ĐIỆN CỦA VẬT LIỆU

1.1. Tính chất sắt điện

1.2. Tính chất áp điện

1.3. Tính chất hỏa điện

Chương 2. ĐẶC TÍNH MỎI TRONG CẤU TRÚC SẮT ĐIỆN – ÁP ĐIỆN

2.1. Mở đầu

2.2. Đặc trưng quay của đômen sắt điện

2.3. Mô hình nghiên cứu về đặc tính mỏi trong linh kiện sắt điện

2.4. Ảnh hưởng của các thông số đo đến đặc tính mỏi trong các linh kiện sắt điện

2.5. Cải thiện đặc tính mỏi trong các linh kiện sắt điện

Chương 3. PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG VÀ LINH KIỆN

3.1. Mở đầu

3.2. Tóm tắt về các phương pháp chế tạo màng PZT

3.3. Chế tạo màng sắt điện PZT bằng phương pháp bốc bay xung laser (PLD)

3.4. Chế tạo linh kiện MEMS áp điện trên cơ sở màng PZT

Chương 4. TÍNH CHẤT CỦA VẬT LIỆU SẮT ĐIỆN KHÔNG CHỨA CHÌ NỀN BNKT

4.1. Tổng quan về vật liệu sắt điện không chứa chì BNKT

4.2. Cấu trúc và tính chất của gốm BNKTS pha tạp Li

4.3. Cấu trúc và tính chất của gốm BNKTZ pha tạp Li

4.4. Tính chất của màng sắt điện không chứa chì Bi0,5(Na0,80K0,20)0,5TiO₃ tổng hợp bằng phương pháp quay phủ sol-gel

Chương 5. VẬT LIỆU ÁP ĐIỆN/SẮT ĐIỆN KHÔNG CHÌ KNN

5.1. Mở đầu

5.2. Vật liệu gốm đa tinh thể KNN

5.3. Vật liệu gốm KNN dạng kết cấu (texured)

5.4. Vật liệu gốm KNN dạng đơn tinh thể

5.5. Màng mỏng KNN

5.6. Một số ứng dụng của vật liệu KNN

5.7. Triển vọng và định hướng

Chương 6. ỨNG DỤNG CỦA CÁC LINH KIỆN MEMS SẮT ĐIỆN – ÁP ĐIỆN

6.1. Mở đầu

6.2. Vật liệu sắt điện – áp điện PZT

6.3. Ứng dụng của linh kiện MEMS áp điện

Chương 7. LINH KIỆN MEMS QUANG ÁP ĐIỆN

7.1. Giới thiệu

7.2 Vật liệu áp điện cho MEMS quang 

7.3. Các cơ chế và cấu trúc chuyển đổi năng lượng điện thành năng lượng cơ dùng trong linh kiện MEMS quang

7.4. Một số linh kiện MEMS quang áp điện tiên tiến

7.5. Kết luận

Chương 8. LINH KIỆN ÁP ĐIỆN VI CÂN TINH THỂ THẠCH ANH – QCM

8.1. Cơ sở linh kiện vi cân tinh thể thạch anh

8.2. Linh kiện vi cân tinh thể thạch anh đa kênh

8.3. Tính chất nhạy khí của linh kiện vi cân tinh thể thạch phủ lớp cột nano ZnO

CHỈ MỤC