Giáo trình “Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử” đã được tác giả biên soạn dưới dạng các bài giảng để giảng dạy cho học viên cao học của Viện ITIMS, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội từ hơn 15 năm nay. Trong quá trình giảng dạy, giáo trình thường xuyên được bổ sung, sửa chữa và cập nhật. Hiện nay do nhu cầu về tài liệu học tập, tác giả đã hoàn thiện và cho xuất bản giáo trình này.
Giáo trình bao gồm tám chương: Chương 1 trình bày về vấn đề tỷ lệ kích thước liên quan tới các hiện tượng vật lý trong linh kiện kích thước micrô; Chương 2 giới thiệu về phương pháp khắc bức xạ (bao gồm phương pháp quang khắc, phương pháp khắc tia X và phương pháp khắc bằng chùm điện tử); Chương 3 trình bày về kỹ thuật khắc khô (bao gồm kỹ thuật khắc khô vật lý, kỹ thuật khắc khô hóa học và kỹ thuật khắc khô hóa – lý); Chương 4 đề cập tới kỹ thuật chế tạo màng mỏng, loại vật liệu bổ trợ trong chế tạo linh kiện MEMS; các chương tiếp theo trình bày về ba kiểu công nghệ đặc thù gồm: Chương 5 về công nghệ vi cơ khối ướt, Chương 6 về công nghệ vi cơ bề mặt và Chương 7 về công nghệ LIGA; chương cuối cùng, Chương 8 trình bày về công nghệ đóng gói.
Giáo trình được sử dụng cho các học viên cao học của ngành Khoa học và công nghệ vật liệu điện tử. Cuốn sách cũng có thể sử dụng làm tài liệu tham khảo cho sinh viên các ngành như Vật lý kỹ thuật, Cơ khí và Điện tử viễn thông.