Sách “Cơ sở kỹ thuật chân không và Công nghệ màng mỏng – Nano” được biên soạn nhằm phục vụ giảng dạy và học tập ở các trường đại học công nghệ và đại học kỹ thuật trong cả nước. Cuốn sách này giúp sinh viên củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng, màng nano tinh thể. Sách gồm hai phần: Phần I, “Cơ sở kỹ thuật chân không cao và Công nghệ màng mỏng”, có sáu chương: Chương 1 – Động học chất khí; Chương 2 – Vật lý và kỹ thuật chân không cao; Chương 3 – Hiện tượng hấp phụ và ngưng tụ; Chương 4 – Lý thuyết lắng đọng màng mỏng trong chân không; Chương 5 – Các phương pháp chế tạo màng mỏng sử dụng kỹ thuật chân không và Chương 6 – Kỹ thuật phún xạ. Phần II, “Công nghệ PLD và Epitaxy cho nano tinh thể”, có hai chương: Chương 7 – Kỹ thuật lắng đọng bằng laser xung và Chương 8 – Kỹ thuật epitaxy.

Cuốn sách còn nhằm mục đích phục vụ các đối tượng nghiên cứu về vật lý chân không và công nghệ vật liệu màng mỏng và nano. Trong sách có nhiều dữ liệu tin cậy, cập nhật có thể làm tài liệu tra cứu, tham khảo cho các học viên cao học, nghiên cứu sinh hay các kỹ sư, kỹ thuật viên làm việc tại các cơ sở sản xuất công nghiệp liên quan đến kỹ thuật chân không và công nghệ nói chung, đặc biệt là công nghệ vật liệu và linh kiện dưới dạng màng mỏng hay vật liệu cấu trúc nano.